技术参数 ◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢，约20升)420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 电极面积250(W) ×190(D) mm,3层
◆ 清洗模式RIE or DP模式自动转换
频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，
性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统德国莱宝(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制PID闭环自动稳压控制
◆ 气路系统2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路