>> 产品特点
WB300采用专利高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子体系统是下列用途的理想方式:
- 等离子体表面改性
- 有机物表面等离子体清洁
- 邦定强度增强
- 等离子体刻蚀应用
- 等离子体灰化应用
- 增强或减弱浸润性
- 其它等离子体系统应用
站内搜索
|
微波等离子清洗机
详细信息 >> 产品特点 WB300采用专利高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。 微波等离子体系统是下列用途的理想方式:
|